A produção defluoreto de terras rarasé principalmente através dos seguintes métodos:
Fluoração de ácido fluorídrico. Neste método, o gás fluoreto de hidrogênio seco reage com óxidos de terras raras a 650 a 700 graus para obter anidro de alta purezafluoreto de terras raras. Este processo envolve o uso de um forno de fluoração estacionário horizontal no qual os óxidos de terras raras calcinados são embalados em um recipiente de platina ou níquel, colocados no forno, aquecidos a 650 graus ou 700 graus e mantidos aquecidos por 4 a 5 horas após o forno ser selado, então resfriados a 300 graus e então parados para gás HF e continuados a resfriar abaixo de 100 graus para descarga.
Fluoração de bifluoreto de amônio. Este método usa bifluoreto de amônio sólido como um agente de fluoração sob condições de aquecimento para fluoretar diretamente óxidos de terras raras em anidrofluoreto de terras raras. Fluoreto de terras rarase um excesso de 30% de NH4F· Após a mistura, o HF é embalado em um recipiente de platina, aquecido a 300 graus em um forno de aquecimento e mantido incubado por 12 horas para reagir completamente.
Processo úmido. Este método envolve adicionar flúor (como ácido fluorídrico, bifluoreto de amônio, etc.) à solução de compostos de terras raras, lavar e secar o precipitado resultante para prepararfluoreto de terras raras. O processo envolve a adição lenta de ácido fluorídrico a uma solução de terras raras e um excesso de 5% a 10% para permitir que o fluoreto de terras raras precipite completamente sob agitação. O fluoreto hidratado resultante é filtrado, lavado com água pura a 70 graus e pH=5 a 6, então seco, triturado e desidratado a vácuo a 450 a 700 graus e 1332,66x10-4Pa.