Os pós de polimento comumente usados são derivados de uma mistura de terras raras, suplementados com flúor, quartzo, cálcio, bário, ferro e uma pequena quantidade de outras impurezas. Da década de 60 à década de 70 do século XX, o processo de preparação e o método de produção do pó de polimento alcançaram resultados de pesquisa relativamente concentrados. Um processo de preparação comumente usado é alterar quimicamente os enriquecimentos de terras raras em um estado sólido para convertê-los em compostos com propriedades mecânicas e químicas estáveis. O teor de óxido de terras raras é de 40 a 70% (contendo 30 a 65% de óxido) e o tamanho das partículas é de 1 a 4 mícrons. O pó de polimento é relativamente barato, tem uma alta taxa de corte e é amplamente utilizado. É usado principalmente para o polimento de tubos de raios catódicos, vidro plano e lentes. O segundo tipo de pó de polimento à base de óxido é produzido por precipitação química.
A precipitação de terras raras é calcinada em um óxido estável e moída em um pó fino. Geralmente contém 70~100% de óxidos de terras raras (40~100% de óxidos). A vantagem deste produto é que a composição é uniforme, e o tamanho das partículas e a consistência da forma são bons, mas é usado principalmente para vidro óptico. O vidro especial é polido usando um alto nível de pó de polimento (mais de 99% de óxido). Sua forma de partícula e dureza são uniformes, alta pureza, superfície uniforme, sem defeitos, sem poluição de impurezas. É comumente usado no polimento de instrumentos ópticos de precisão, cristais de laser e componentes semicondutores. Os requisitos para pós de polimento de terras raras são diferentes daqueles de produtos de terras raras semelhantes. No caso de pós de polimento, embora também haja requisitos para pureza química, não é o fator decisivo, mas o fator decisivo.
Portanto, a preparação do pó de polimento de terras raras deve ser dotada de propriedades físicas adequadas com base em um determinado conteúdo químico, como tamanho de partícula, uniformidade, propriedades cristalinas, dureza, proporção, etc. Essas propriedades devem ser ajustadas durante o processo de preparação, incluindo precipitação e calcinação.